新武機械貿易股份有限公司

　

	M-110

	M-210W (線上量產型)

株式会社　NISSIN

M-110

微波電源電漿表面處理裝置
	大面積均勻處理 NISSIN獨立的掃描(SPT)技術,可做到大面積且高均勻性處理,確保品質、提高產品良率。
	水平Inline方式處理基板不需框架或夾具，可搭載投收板機構，與下製程連接為Inline方式處理，確保產品時效性及品質穩定性，提高改善產品良率。
	低壓低溫高均勻性採取低真空度常溫方式處理，減少抽／破真空時間，並不需要升溫即可快速處理，其均勻性可達９０％以上。

裝置內容

處理內容

最大 510mm ×　 410mm 掃瞄處理

外形尺寸

1600 W × 1900 H × 950 D ( 不含幫浦、警示灯 )

重量

約 650 Kg ( 不含幫浦 )

裝置型式

枚葉式間歇 Type

搬送系

最大搬送速度 18m/min

托盤尺寸

520mm × 420 mm

Reactor 部

500mm 寬 SWP 3kW 微波電源

瓦斯系

2 系統